前驱体源瓶-产品中心-江苏容导半导体科技有限公司

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前驱体源瓶

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材质

● 管件阀门：316L不锈钢

● 瓶体：316L不锈钢内部EP抛光处理，Ra≤0.25μm

容积与尺寸：根据客户要求设计加工生产

灌装介质：金属有机前驱体材料、硅基前驱体材料及其他高纯前驱体化学品

气密性检测

● 允许泄漏率≤1.0×10 mbar.L/S

● 可装化学品纯度：99.9999%～99.9999999%

检测测试：本容器通过国家检测部门检测，可提供UN认证

其他选项

● 阀门可按客户需求选择

● 最短间隙组合阀组（减少死角、清扫方便）

● 多系列客户选择：C系列、S系列、G系列

● 定制化设计生产

C系列

S系列特点：
材质：316L不锈钢
气密性检测：允许泄漏率≤1.0×10 mbar.L/S
可装化学品纯度：≥99.9999%~99.9999999%
检测测试：可提供UN认证

S系列

S系列特点：
材质：316L不锈钢
气密性检测：允许泄漏率≤1.0×10 mbar.L/S
可装化学品纯度：≥99.9999%~99.9999999%
检测测试：可提供UN认证

G系列

G系列特点：
材质：316L不锈钢
气密性检测：允许泄漏率≤1.0×10 mbar.L/S
可装化学品纯度：≥99.9999%~99.9999999%
检测测试：可提供UN认证

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